웨이퍼에 회로를 새기는 포토 공정 반도체 집적도가 높아짐에 따라 노광 장비의 해상도도 높아져야함 여기까지가 광원 만드는 과정 출처: 싱글벙글 지구촌 갤러리 [원본 보기]
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